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第266章 制程路线之争 (上) (第3/5页)

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157n会被现有主流193n器所用的镜片吸收,光刻胶也要重新研制,所以产线改造难度极大,几乎是另起炉灶的重新再来,而157n源对193n波长进步只有不到25%,研发投入产出比实在太低。

也不知道东洋是幸还是不幸,得益于其国民性的工匠精神死磕波长缩短的尼康属实伟大,第一个解决了困扰世界十来年的光源波长问题。

但可惜的是,彼时华人科学家林本坚博士光刻胶上加水的创意已经把193光源的波长通过折射直接变成137n来更把193光源的线宽直接推进到了十纳米以下,直接把尼康投入巨资所研发的技术毫无悬念的送回了老家。

这件事绝对可以载入人类电子产业的发展史,可以说林本坚博士以一己之力直接击沉了东洋电子产业都不为过,要知道尼康研发157n光源绝不是一个光源的问题,其配套的镜头、光刻胶、化学制剂、车间电路等等几乎都是全新的,差不多等于把整个晶圆生产线或者电子产业基础全都换了一遍。

得益于东洋强大的电子配套产业实力,围绕着157n源,东洋系电子产业链参与进去了无数的大小公司,结果都被一起打折了脊梁,在梁远偷渡之前,东洋广场协议之后,东洋经济之所以失落长达二十年之久,林本坚博士绝对功不可没。

除了憋屈死掉的157光源之外,也是梁远偷渡之前人类技术上限中最有可能投入到大规模商业应用中的光源,这个阵营包括英特尔、a、摩托罗拉、美国能源部、as、英飞凌、cron等。

1n近式x光:这个阵营包括aset、tsubishi,、nec、toshiba,、ntt、ib摩托罗拉,这也是一个被林本坚博士击沉的阵营,由于实验室向来比产业界前沿的缘故,这个阵营起始于八十年末期,采用接近式曝光方式生产,原计划可以作为157光源之后的后补技术登场,到了新世纪虽然没有尼康那般倒霉刚好产品成熟,不过美日两国也各自在这个方向上投入了数十亿美元

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