平台，因此套刻精度又受工件台定位精度的直接影响。
在引入误差后，双工件台的精度起码还得提升个10倍，达到微米的精度以上，才能真正用在微米的制程工艺上——这才是远芯需要的光刻机。
而后世的工件台，定位精度甚至能够达到2纳米以下！加上多重曝光，理论上甚至能实现2纳米的制程。
现在曲慧说定位精度在微米，那意思就是首都精科那边只能算是造出了双工件台，要真正运用在光刻机上，还需要进行不断的调试。
苏远山对机械不甚了解，他只知道，如果零部件误差在允许范围内的话，那么精度的提升就只能依靠纠偏系统了。
纠偏系统，顾名思义，就是纠正偏移的系统。它的工作原理说简单也简单，就是搭配光栅传感器，把精度控制、调整在可以接受的范围内。但说复杂也复杂，因为它对运动控制模块的要求相当高。
曲慧合上书，回答道：“计划当然是有计划，我们接下来会一直继续优化纠偏系统和运动控制模块，但现在没办法告诉你准确的进度。”
苏远山慢慢点头，突然问道：“首都高科对双工件台的出口计划是什么？”
郑振川和曲慧一对视，两人同时沉默。
片刻后，郑振川轻声道：“小山，我们被国外掐脖子掐得够厉害了，我认为我们的双工件台不需要出口。”
曲慧同样点头：“我也认为。”
……
苏远山长长地叹了一口气。
直到现在，他才终于弄明白了这二人的真正来意。
曲慧的想法，大概是她更多从要之前被掐脖子掐得狠了，现在终于轮到自己领先，要“爽一把”的角度来考虑。
而郑振川，则是考虑到双工件台所带来的效率提升，必定会赋予宏芯光刻机强大的竞争力——说白了，就是郑振川把国产光刻机的未来押在了双工件台上。
但显然……首都精科那边的想法不一样。
