苏远山突然觉得嘴皮有点干,沉默许久后,他抿着嘴唇,轻声道。
“我得承认,我这段时间确实对光刻机领域关注得少了一点。”
曲慧此时已经放下书,望着他,正色道:“你不止是少一点,光刻机是不能放弃的。”
“是。”苏远山点头,再次沉默几秒后望向郑振川:“郑叔,就算德远采购明年的krf光刻机,能够让你们拥有竞争力吗?”
“或者说,你们宏芯真的到了必须得靠德远采购才能活下去的时候了?”
“不……当然不是。”郑振川马上摇头:“如果德远能够采购我们的光刻机,国内一帮人肯定会闭嘴的,更何况……我们还有双工件台呢。”
苏远山微微点头。
这个理由他认可。
从规模上,德远当然比不过intel,德仪,nec这种老牌半导体企业,甚至连岛上的联电都比不过。
但从制程工艺和技术实力来看,德远的崛起确实带着浓浓的远芯印记,短短四年时间不到,就追上了制程领域的第一梯队,堪称半导体行业的奇迹。
而从德远上个季度公布的财报来看,德远也跻身进了十大晶圆厂。甚至因为并没有涉足目前正受冲击的dram领域,还一举超过了nec和德仪,一举进入了前六。
如果能拿到德远的“认可”,显然对宏芯的光刻机是有正面宣传意义的。
沉默着,苏远山突然望向曲慧。
“曲慧姐,你们那边的定位精度在一年内能提到多少?有计划表没有?”
——工件台的精度与光刻机的制程工艺是两码事,一般来说,微米制程,搭配纠偏系统的话,需要的套刻精度是微米以下。
套刻,指的是,在依次曝光完硅晶片的所有field后,更换掩膜进行重复曝光,这两次曝光的过程中的掩膜,需要精确地套叠在一起,因此被称为套刻。
而众所周知,工件台是光刻机工作时所有工序的