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今天是洪湖市洪山区的中晶微公司晶圆厂设备进厂的日子,两台瑞星科技公司光刻机被存进了恒温仓库,今天被运抵厂区,需要在吊车的协助下吊装进厂房。
此刻厂房二楼外墙上拉开了一扇预留的大门,门下临时搭起了一个运输平台。
起重吊车轰鸣着,将运输卡车上那个用一层层保温材料包裹着的设备箱缓缓吊起,平稳送上了二楼平台,随即设备箱被安装人员在平台上打开,将里面那台用一层层保温防尘膜裹紧的光刻机推到了滑轮台上,然后被小心地推进活动门。
随着被多层薄膜裹得严严实实的两台光刻机前后消失在门内,工作人员将大门缓缓合拢,工程师们鱼贯爬上平台,开始对大门与墙体接缝处进行密封施工。
谭云松此时手拿对讲机发号施令:“设备一组各就各位,立刻对光刻间进行一级除尘,注意控温,三小时后摘除第一层防尘恒温罩,明天天亮之前要把所有防尘恒温罩摘除,明天一定要进入机位安装程序,绝不能耽误瑞星科技公司安装人员的工作日程!”
杨杰在谭云松身旁静静地看着他指挥,心中感慨良多。
这是第一座在洪湖市落户的第一个微米十二英寸晶圆厂,经过一年多的紧张施工,现在终于进入了设备安装调试阶段,这也算是亚洲第一座最先进的晶圆厂了。
“谭总,能把建设周期压缩到一年多,真是了不起呀!”杨杰笑着道。
“这主要是瑞星科技公司的设备能跟得上。”谭云松笑着看了一边的何玉光跟席海清等人。
“呵呵,也是燕京的激光物化所去年年底总算是生产出了合格的氟化氪激光光源,公司总算是生产出了这么几台光刻机。”何玉光笑道。
燕京激光物化所制备出足够功率的准分子激光光源后,瑞星科技公司也是加紧了组装调试的工作,花了大半年的时间总算是将光刻机给生产出来了。
龙宏