拿了过来。
华越电子公司有内部锅炉,会议室室里面温暖如春,,杨杰对着电脑将样品在电子显微镜下拍摄的一张张照片用幻灯机投在屏幕上,芯片上以纳米为单位的微结构被放大如斗,在看了很多张照片后,他心中已经有数了。
“这些照片大家开会前都已经看过,对栅极埋入层的形貌结构心里也都有数了,我来给大家分析一下,看看和大家自己做出的分析是不是一样。”
看着几十双眼睛看着自己,杨杰也是说出了自己的看法:“我们这次工程流片之所以会出现大批不能读写的次品,良品率极低,主要原因虽然有目前的微米实验制程不成熟的原因,但再怎么不成熟,良品率也不能这么低。刚才我看了一下照片,真正搞出次品的原因是因为我们的埋入晶圆的栅极扩散层形态异常。”
会议室里徐工也是松(本章未完,请翻页)