山上一郎面不改色,只是嘴角微微一翘。
——他中文不怎么会说,但听还是能听懂的。
坦白说,如果远芯再晚两年搞这个euv亚洲联盟,只要远芯这边答应尼康拥有排他性地位,那他肯定会尝试说服董事会,加入这个euv亚联。
毕竟,作为主力研发单位,有人出钱让自己搞研发,这种美差没人能够拒绝——这也是为什么当初euv联盟成立时,intel打算邀请尼康加入,尼康上下都趋之如骛的原因。
只不过后来……就不说了。
被euv联盟排除在外,尼康自然不会甘心——只要是个人都不会甘心的。因此,尼康便火速上马了157nmf2准分子激光——或者说,加大了投入力度。
毕竟,目前193nmarf的极限早已被算得不能再算——它无法延伸到65nm节点。或者说,就算勉强能过通过工艺手段实现65nm,那成本也会堪比天价。
如今五年过去,就算进展再慢,尼康这边的f2光源也看到了成功的曙光。
山上一郎承认,依靠着此前双工件台的先发技术优势,大陆的宏芯一举崛起,拿下了诸多中低端需求的订单和市场。但随着各方力量的介入,大陆的首都精密也在不到一年之内就放开了渠道。
这让尼康瞬间重回巅峰。
但大陆的光刻机,有个天然的问题——技术沉淀。
长久以来的封锁和落后,使得其在光源,镜头,精密零部件的设计和制造等领域均落后于人——即便宏芯享受到了双工件台提前一年的福利,他们依旧无法在高端光刻市场造成本质上的威胁。
如今,光刻机市场已经呈现出了明显的两种选择。
一条路是以尼康和佳能为首,主要瞄准157nm,稳扎稳打地为晶圆厂提供有力的武器。
而另外一条,则是以荷兰的asml为主,打算一步到位,直奔euv这个目前理论上的终极光源。
现在看来