的差异实在有点大。
最优秀的光刻机,稼动率能够到90%,但最差的,或许就只有50,60%。
目前,获得了来自飞利浦和intel大力支援的asml,虽然还是在制造krf光刻机,但他们光刻机的稳定性就大大超过了尼康佳能,一条生产线的稼动率甚至可以长期稳定在90%以上。
至于鸿芯这边,根据统计,平均的稼动率是在70%到80%左右浮动,和尼康佳能差不多,还稍逊一点。
“只有慢慢来,我们现在只有尽量优化工艺流程,提高零部件标准,然后再细细打磨技术。”苏远山这边提到稼动率,郑振川也一阵烦恼。双工件台是好,但如果无法通过长时间的流水线生产的验证,那也仅仅只是弥补缺陷罢了。
“嗯,没事。”苏远山点点头:“工艺打磨可以慢慢来。我们本身就落后几十年,现在是强行追上来的,有缺陷和不稳定很正常,慢慢吸取教训,慢慢进步就是了。但……研发不能慢下来。”
“我希望你们直接就与林,赵团队合作,直接跳过单纯的arf光刻机……或者说,直接协同研发跨越193nm的光刻机!”
他话音落下,这边曲慧和沈浩然马上便是一惊!
“小山,你的意思是林博士他们解决了下一代光源了?”曲慧由于长年累月呆在鸿芯这边,早已经对光刻机技术和发展了如指掌,知道目前国内虽然由赵凯东那边实现了arf光源的突破,但arf在国外可是好几年前就已经突破了……而且人家早就意识到了193nm的arf激光将会是光刻机发展的一个重要节点——这也是国产光刻机追上世界的重要机会。
但人家意识得早,就意味着布局得早。尼康早就拉了一帮人在搞157nm的f2准分子光源不说,老美那边更是牛逼,国家能源局亲自下场,组建了一支豪华的阵容直接瞄准了最低可到10nm波长的极紫外光源euv。
而国内,则压根没有那个精力去搞。