件台到底怎么样了。”
“成了，但有点麻烦。”曲慧知道苏远山对光刻机倾注的心血不比晶圆厂少，此刻也不开玩笑，正色了起来：“你知道的，制约国产光刻机精度的最大敌人就是精度。”
苏远山点头：“嗯，不用你说，我就算再不懂机械也知道。”
“精度的最大问题又会最终落在电机控制，材料，加工精度上。”曲慧抿着嘴，慢慢道。
“双工件台的构想是根据华罗庚先生的统筹方法思想而来，原理就是把在曝光过程中处于等待状态下的流程先走一步。实现一个工件台曝光，一边进行测量对准等工作。等到曝光完毕，就可以不用再测量对准，从而直接就可以移动平台，然后曝光。”
“根据我们的估计，在目前的工艺水平下，采用双工件台除了可以提高30%以上的效率之外，还可以略微提高精度——别的不说，10%起码有的。”
苏远山再次点头：“然后呢？”
“我们这次取得的突破，是在运动定位模块和流程控制系统上。”
苏远山听得眉毛一扬！
他哪怕对双工件台的设计和原理再不懂，他也知道，实现双工件台最困难的地方便是运动定位系统，是真正的“牵一发动全身”“差之毫厘，谬之千里”。
而且苏远山还知道，asml的初代双工件台，其实效率并不十分高，只能说略有提升——就是因为控制系统不成熟。不然也不会直到浸没式光刻机出来之后才正式宣判尼康和佳能死刑。
双工件台技术真正的成熟，还必须等到磁悬浮技术诞生。只有那样，才能把误差缩短到极限。
但一切的前提还是控制系统。
那么……既然都已经取得突破了，还有什么麻烦？
“那麻烦在哪？”
“麻烦在于，我们目前只能实现微米的精度。”曲慧紧缩着眉，凝望着苏远山道：“而且，精度越高，摩擦系数和阻尼作用就越强。我有点担心，它在
