纳米级的精度下困难。
否则asml也不会垄断这玩意十几年——好吧，事实上是asml已经垄断了光刻机领域，也变相地直接垄断了双工件台。
如果现在双工件台能够成功出世，并与尼康，佳能，以及尚在襁褓中asml等光刻机建立起“联姻”一般的关系，那么，它天生便会完成垄断。
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