光刻机联合研究中心。
苏远山是被郑振川一个期期艾艾的电话直接给叫到这边来的——在电话中,郑振川只是说光源小组和硅谷的林本坚团队出现了摩擦。
当时把苏远山吓得够呛,下楼抢了一辆自行车就往光源实验室赶去。
不过当听到所谓的摩擦后,他微微松了口气。
……
“意思是林本坚那边说,根据他的技术直觉,kbbf晶体无法用在duv光源之上?”苏远山望向赵凯东问道。
赵凯东正在一根一根地抽着烟,点了点头:“是的,但国外已经出现了kbbf的倍频技术……我们这边也有所突破了。”
苏远山抿了抿嘴,深深地皱起了眉。他知道,kbbf现在是可以出口的,而且国家甚至还大力提供……希望与国外共享技术。
“老林那边就一个直觉吗?”
“不是……是目前已有的光源来看,kbbf晶体不足以满足光刻机的持续、大功率激光输出。”赵凯东望向苏远山:“但我们相信……大功率肯定是能的。”
苏远山轻轻叹了口气:“我当然也相信……”
苏远山知道,后世kbbf是一直没有用在光刻机上的——或者说,加个主流。当初他让赵凯东搞kbbf,也是怀着侥幸,希望能够从kbbf上完成突破,从而一举打破193纳米的桎梏,再加上浸润式,到时候就能很轻易地靠着duv就下探到5nm制程之下。
现在被林本坚这个光学大师级人物直接反对了,苏远山一时半会还真不知道怎么判断了。
不过有一点他是相信的,就是kbbf的技术肯定有用——大功率激光器了解一下。
沉吟许久后,苏远山轻声道:“这样,老林那边的团队……因为投入有限,同时也要考虑到极端条件下的政策因素。所以我们不能把鸡蛋放在一个篮子里,这边还是用两条腿走路的形式。”
“马上校招季到了,远芯这边也招一