机,把钞票母版的图形印到纸张上的过程,就像光刻机把芯片图形印到晶圆上一样,都需要有母版,这个母版在半导体制造上就是光罩。
为了制造一款芯片需要几百道工序,光罩也是不只一张的,原则上,工艺制程精度越高,需要的光罩数量也就越多。
譬如在后世,在14nm工艺制程上,大约需要60张光罩,7nm可能需要80张光罩甚至更多。
当然光罩的品质要求也是不同的,对于某些对精度要求很高的工序,相对应的光罩对精度的要求时最高的,比如晶体管相关的光罩,而对精度要求不那么高的工艺,比如pad(打线孔)等要求就低一些,光罩价格也便宜一些。
先进制程对光罩精度的要求越来越高,同时不能有缺陷,所以光罩制造后的检查也很重要。
(注:上面对光罩的解释,引用的是全芯智造技术有限公司bd总监韩明的知乎回答节选,在此致谢——我自己没组织语言和加工是因为他说得太清楚了……)
因为光罩厂的生产工艺工序复杂,同时制程精度越高,需要的时间也就越长,因此它并不是一个晶圆厂的必备车间——因为晶圆厂完全可以委托其他光罩厂进行掩膜版制作,同时它还可以制造其他行业所需要的光罩。
之所以第一时间选择建光罩厂,张汝金也是看到了这一点。
目前国内尚且没有专业提供代工的光罩厂,张汝金能直接携带德仪的光罩技术过来,等建好后也能赚点小钱。
——当然,他是不知道,苏远山其实是打算在晶圆厂上先亏它个二十亿美刀的。
“光罩厂的主要设备几乎都掌握在霓国那边,包括核心的光罩写入机。还好购买过程中没有遇到太大的麻烦,霓国nuflare公司那边表示已经开始装箱,马上就能运送过来。”
张汝金带着一行人沿着崭新的水泥路面走向远处的车间,一路走,一路介绍着情况。
苏远山抬头瞥了一眼,只见整个科技园区