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第143章 双工件台的设想 (第1/4页)

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在实验室内,苏远山遇到了意想不到的人。

“郑叔?”

郑振川正带着研究员站在原子力显微镜前观察着什么,这让苏远山颇有些惊讶。按理说郑振川这边用不着原子力显微镜的。

苏远山建的物理实验室当然不是只有他自己用,而是统一归于科技园实验室中心管理。任何人只要打个申请就能使用。

“我来分析一下第一次曝光后的硅晶圆表面。”郑振川呵呵笑道。

“喔,那你们继续。”苏远山决定不打扰对方。

“没事,我们已经弄完了。”郑振川走向苏远山,想了想道:“小苏,你上次提到的双工件台设想,我们所里考虑了一下,发现难度很大,感觉根据现有的条件走不通。但一旦实现的话,确实对于光刻机来说,会是一个极大的提升。”

“嗯,没错。终于走不走得通……”苏远山笑了笑:“我们先不忙考虑其他,仅从设计角度上来说,可以设计出这样的机械装置来配合光刻机吗?”

郑振川笑道:“这当然可以,只要是机械,就没有设计不出来的。无非是精度、效率、体积罢了。”

“那不就结了?”苏远山摊手:“总得先试试,精度效率先不管,先管体积,先搞出来再说。”

“只是那非一朝一夕啊。”

“慢慢来嘛。”苏远山呵呵一笑:“我出钱的都不着急呢,这玩意哪怕十年弄出来也没啥。但只要弄出来了,那就是大杀器,对吧?”

郑振川笑着点了点头:“确实。”

苏远山呵呵一笑。

asml之所以横扫全球,除了率先搞出193nm浸润式光刻机之外,双工件台也是它的独门绝活。国内是直到2020年了才搞了出来……

苏远山知道这些技术的难度,所以他压根不急,而且也没有办法着急。

远芯现在的研发底子和投入绝对是国内企业的顶级水准,但比起国外,还真的有差距。

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