叔,我猜就是你们想搞突然袭击,害得我们在两位领导面前失礼了。”苏远山仗着自己和两人关系好,自己又年轻,开着玩笑道。
赵凯东和谢开云当然是一笑而过。
闲聊几句后,郑振川直接进入了正题。
不出苏远山所料,郑振川这次是来和苏远山商量今后光刻机项目到底该怎么走的。而且这周伯光这三人也正是此次验收的专家组成员。
看着这人员配置,苏远山算是明白了为什么前世里,在没有远芯帮忙之下,成光所搞出来的光刻机也能通过验收了——专家组三个领导,其中两个都是中科院的“亲戚”,怎么可能验收不过?
“我们四个过来主要还是想听听远芯对国内光刻机发展的看法。”郑振川笑着道:“毕竟你们远芯是国内半导体行业的领头羊,秦博士,你们的cpu据说已经远销西方了?”
秦为民笑了笑:“远销算不上,我们走的是设计路线,最近只是签了两个西方单子。”
“那也算国产cpu之星了。”
“郑叔,您可太抬举我们了。”苏远山笑道:“我们只是胆子大了一点,步子快了一点,同时眼睛也没盯着脚下,往远处看了一点罢了。”
苏远山的谦虚让四位大佬同时一笑,但很快便意识到苏远山不是随口一说。
前面两句早已传遍神州大地的话可不是苏远山的原创,后面那一句,才是他的重点。
这次验收小组的组长、谢开云副所长目光灼灼地望向苏远山:“小苏,那就光刻机来说要看多远?”
“虽然目前市场面主流的激光光源已经是i线uv(紫外激光),但根据我们所知,光源部分早就进入duv(深紫外)领域,就要突破248nm的krf,甚至已经开始研究193nm波长的arf了。”
苏远山十指交叠,无声地笑了笑:“最起码,我们需要进入紫外光领域才行。”
“i线的uv配合高精度的工作台,是可以在很长一段时