光所)
但苏远山知道,成光所的这些研究方向是失败了的。
现在已经是92年初,成光所会在明年推出被誉为电子十大科技成果之一的首台g线光刻机——-2微米分步重复投影光刻机。然而因为良率实在太低以至于根本只能当个样机……
后来成光所再接再厉,又研发出-1微米的分布投影光刻机,并号称是唯一一台做出过元器件的自主研发的光刻机。
听听这措辞,“做出过”元器件——悲凉中透着倔强。
从此国产光刻机再回首时已是百年身。
作为相关行业的从业者,苏远山当然了解过国产光刻机的历史。事实上成光所搞的这台就是仿造nec的2微米光刻机而来,但硬件可以山寨,嵌入式系统就没办法了。特别是各种微调,那是需要系统和经验的双加持。
苏远山今年的计划就是借着同在省城的优势拉着成光所的这波人吃一波经验。他还没想好怎么找借口合作,对面就找上门来,这不是想睡觉有人送枕头是什么?
……
见苏远山兴奋不已,父亲反而冷静下来:“你先别高兴太早,光刻机一共数万个零部件,属于极精密仪器。要开发嵌入式系统,必须得对其系统和结构有一定的了解才行。我们有这样的人吗?”
“我们当然没有,不过可以互相学习。”苏远山笑道:“而且光刻机说起来复杂,实际上嵌入式系统最难搞的主要还是在对准系统上,说详细点就是什么步进电机,力矩电机,伺服电机之类的马达的协作上……”
说到这里苏远山突然停住了。
一旁听得津津有味的张克一愣:“你咋不说了?”
苏远山轻轻叹了口气:“因为这些马达似乎国产的都不行。”
其实国内的激光光源部分一直没怎么落后,甚至在某些领域的运用还领先。但落在光刻机这种集各项顶尖技术于一身的高精密机械,是最受木桶效应影响的。
“进口就是了