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第584章 没有秘密的秘密 (第3/4页)

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绕过美国相对简单,相比之下极紫外线光源技术就比较妖孽了。

后世阿斯麦的极紫外线光刻机,使用的光源是采用激光持续轰击锡滴产生的。

由于锡滴发光效率很低,极紫外线又只占所有光线的百分之几,因此必须使用足够强的激光轰击锡滴,才能发出足够的光——至少得是3万瓦以上,而且还得持续不停的轰击。

大功率激光问题,准确命中锡滴……每一项都是要命的技术。

在镜头上,极紫外线也与深紫外线有很大不同,极紫外线非常容易被吸收,深紫外线阶段使用的透镜式镜头已经不能使用了,因为镜头材料直接会把极紫外线吸收掉,必须使用反射式镜头。

由于极紫外线的波长只有十几个纳米,镜头纳米级精度已经不够用了。

极紫外线用的反射式镜头,精度必须达到皮米级。

必须要用等离子抛光设备,这东西中国没有,国外也买不来,只能自己造。

镜头上还要镀膜,把极紫外光以外的其他光线,通过镀膜吸收掉。

这种规格的镀膜机,也买不来,杨东升也得自己造。

这些还不算完,由于极紫外线非常容易被吸收,即便空气也会吸收极紫外线,所以整个工作环境必须保持高度真空。

光刻机内部必须先使用普通真空泵抽一遍,再用分子真空泵抽一遍,这还不够,必须还得用吸附式方法,再抽一遍。

杨东升敢把还在研制中的技术,拿给他们看的原因就是光刻机的整体构造,其实没什么秘密可言,考验的就是实打实的工业实力。

这其实是最讨厌的地方!

中国进口了上千台航空发动机,但是对自身航空发动机技术的提升,几乎没有任何作用,就是同样的原因。

很多人以中国做不出极紫外线光刻机嘲笑中国科技,中国确实做不出来,但是美国人独自也做不出来极紫外线光刻机。

荷兰阿斯麦的极紫外线光刻机使用的

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