室中,已经经过处理的石墨烯单晶晶圆被送入到存放光刻机的房间中。
这个房间不算很大,只有三十来平米,但里面设备可不少。
才制造出来没多久的碳基光刻机、离子注入机、引线键合机、晶圆减薄机...等等好些设备都安置在里面。
这些设备是韩元转移进来的,均用于碳基芯片的加工。
除此之外,这个房间的吊顶上,墙壁上,还有不少的机械臂,这些都是房屋建造时就部署进去的。
一块芯片的制造,无论是碳基还是硅基,需要的设备可不少。
光刻机只是其中最出名,最重要的一个,而其他的设备也不可缺。
比如不见名传的‘引线键合机’,它的主要作用是把半导体芯片上的pad与管脚上的pad,用导电金属线(金丝)链接起来。
然后利用热、压力、超声波能量为使金属引线与基板焊盘紧密焊合,(本章未完,请翻页)
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