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第二百八十五章:华国的布局 (第1/2页)

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在通过弹幕了解到国内的厂商直接和岛国杠起来后,韩元并没有多说什么,而是转身继续完成制备单晶硅。

不过却有细心的观众和各国的专家们发现这名主播的讲解,似乎详细了不少。

“‘化学气相沉积-硅核心外延法’制备单晶硅最主要的方式一般是两种。”

“第一种是‘四氯化硅氢还原法’。”

“之前看过我制备碳化硅晶材的朋友应该就知道,‘四氯化硅氢还原法’是制取高纯度多晶硅的一种方法。”

“但事实上它同样是可以用来制备单晶硅的。”

“不过我今天使用的并非这个,而是第二种‘硅烷热分解法’。”

“相对于‘四氯化硅氢还原法’来说,‘硅烷热分解法’更加简单,制备流程走的步骤也更少一些。”

“不过有一点要注意。”

“那就是温度。”

“温度对硅烷外延生长速度影响不大,但对外延层质量影响很大。”

“例如,当温度高于1100c时,外延层的自掺杂效应较为严重,反之,若温度过低,外延层的晶体完整性差、缺陷多。”

“实践证明:当用氢气作携带气体时,1050c左右为最佳生长温度;影响硅烷外延生长速度的最主要因素是硅烷在氢气中的浓度,一般随着氢气中硅烷的增加,生长速度也按比例增加的......”

“另外要注意的是,虽然硅烷热分解外延具有生长温度较低,反应机构简单,无卤化物、无自渗杂等优点。”

“但硅烷易燃易爆,而且硅烷外延时生成的单晶硅受硅烷气体纯度的影响较大,外延层杂质的分布也比较难控制。”

“所以如何提炼出来高纯度的硅烷气体,以及保持设备内的无尘净结是使用‘硅烷热分解法’制备单晶硅的重点。”

“........”

通过韩元不断的讲解,直播间里面其他的观众在一些细心观众的提示下

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