进行周期性镀刻有源层和薄膜层了。”
“虽然利用化学气相沉积法制备布拉格反射镜相对于其他方法来说步骤要多一些，但实际制取起来，在有专门仪器的情况下，速度是要快一点的。”
“第一步要做的是将刚刚制备出来的氮化硅材料清洗干净，然后放入腔室内进行加热升温。”
“等到温度提升到一定程度后，使用‘等热-离子掺杂法’在表面侵入一层离子镀层。”
“这里可以使用离子注入机，对比‘离子掺杂发’来说效果会更好一点。”
“因为高能离子注入机能将离子更深入的注入到氮化硅基底晶格里面去。”
“而且相对来说，使用高能离子注入机注入离子层需要的时间更短一些，更适合批量生产。”
“不过缺点也是有的，在使用高能离子注入机后，高速碰撞的离子会损坏氮化硅基底的晶格，需要进行一次（本章未完，请翻页）
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