“从曝光系统、到工件台掩模台系统、到自动对准系统、到调焦调平测量系统......,每一个系统都有着无数的零件和软件配合。”
“顶尖的光刻机,要求每一个系统模块都在电气时代做到顶尖。”
“或许大家对于纳米级的光刻机没有太多的概念,我举个简单的例子大家就知道顶级的光刻机制造有多难了。”
“普通人一根头发丝的直径大约是40-50微米左右,而1微米等于1000纳米。”
“也就是说五纳米级的光刻机的精度相当于一根头发丝的万分之一。”
“这样的精度,如果你不在顶级显微镜下,根本就看不到,更别提用光在上面进行曝光印制电路图了。”
“倒不是说没有微米级,纳米级,皮米级的制备技术,而是目前我手中的工业设备并不足以支持我制备出高精度的光刻机。”
“如果不出意外直播还会(本章未完,请翻页)
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